1、電子特氣:現(xiàn)代工業(yè)之基石,晶圓制造之“血液”
1.1、電子氣體:現(xiàn)代工業(yè)的原料基石
廣義的“電子氣體”指電子工業(yè)生產(chǎn)中使用的氣體,為重要的工業(yè)生產(chǎn)原材料之一。狹義的“電子氣體”特指半導(dǎo)體行業(yè)所使用的特種氣體。工業(yè)中把常溫常壓下呈氣態(tài)的產(chǎn)品統(tǒng)稱(chēng)為電子氣體。根據(jù)《戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)分類(lèi)(2018)》,電子氣體可分為了電子特種氣體和電子大宗氣體,其中電子氣體已經(jīng)成為現(xiàn)代工業(yè)不可或缺的基礎(chǔ)原料。隨著中國(guó)經(jīng)濟(jì)的快速發(fā)展,電子氣體作為基礎(chǔ)產(chǎn)業(yè),在國(guó)民經(jīng)濟(jì)中的重要性日益突出。其上游行業(yè)是原材料和設(shè)備:原材料包含空氣、工業(yè)廢氣、基礎(chǔ)化學(xué)原料等;設(shè)備分為氣體分離及純化設(shè)備制造、壓力容器設(shè)備制造等。下游廣泛應(yīng)用于石油、化工、冶金、鋼鐵、機(jī)械、電子、電力、玻璃、陶瓷、建材、食品,以及醫(yī)療等領(lǐng)域。
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